晶圓探針臺
產品介紹 晶圓溫探針臺為小尺寸樣品測量電特性提供高精度可控測量環境。 應用功能 基本測試 保護氣氛電路測試 高低溫真空探針臺 超高頻探針臺 光電流分析 FA失效分析 晶圓器件性能 … … 產品特點 探針臺可實現精準可靠的測試與測量分析，幫助精準測量和分析判斷晶圓器件的性能，包括提供材料/器件的IV/CV特性測試、LD/LED/PD的光強/波長測試，射頻特性器件失效分析，芯片內部線路/電極/PAD測試等技術解決方案 技術參數 設備系列 LNP-3RT LNP-3RT 溫度范圍 常溫 -190~400℃ 控溫精度 – ±0.1℃（>-120℃）±0.5℃（…
