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  • 薄膜熱導率測試系統

薄膜熱導率測試系統

采用3ω測試方法檢測微/納米薄膜材料熱導率

  • 溫度范圍:室溫-500K
  • 測量范圍:0.1-10W/(m?K)
  • 測試氣氛:真空
  • 測量精度:≤±5%(Si襯底)
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