產品詳情
產品介紹
晶圓溫探針臺為小尺寸樣品測量電特性提供高精度可控測量環境。
應用功能
| 基本測試 | 保護氣氛電路測試 | 高低溫真空探針臺 | 超高頻探針臺 |
| 光電流分析 | FA失效分析 | 晶圓器件性能 | … … |
產品特點
探針臺可實現精準可靠的測試與測量分析，幫助精準測量和分析判斷晶圓器件的性能，包括提供材料/器件的IV/CV特性測試、LD/LED/PD的光強/波長測試，射頻特性器件失效分析，芯片內部線路/電極/PAD測試等技術解決方案
技術參數
| 設備系列 | LNP-3RT | LNP-3RT |
|---|---|---|
| 溫度范圍 | 常溫 | -190~400℃ |
| 控溫精度 | – | ±0.1℃（>-120℃） ±0.5℃（≤-120℃） |
| 真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤5.0 e-3Pa | 機械泵≤10Pa 分子泵≤5.0 e-3Pa |
| 探針數量 | 0~6探針可選 | 0~6探針可選 |
| 移動精度 | 1um | 2um |
| XYZ軸行程 | 6in*6in | 50mm*25mm*25mm |
標簽: 探針臺
嘉儀通科技 | jouleyacht
武漢嘉儀通科技有限公司是專注功能材料物性分析儀器，技術自主創新的高新技術企業。
