TC-Wafer校準儀
產品介紹 TC-Wafer校準儀，一款專注晶圓溫場均勻性測量校準的輔助儀器。適配各類 RTP快速退火爐MOCVD、磁控濺射、刻蝕機、涂膠顯影機等需要關注熱均勻性測量的相關設備，特殊情況可按需定制。 應用功能 半導體制造工藝調校、RTP設備的測試驗證、TC-Wafer的測試驗證、相關晶圓熱處理設備的測試驗證,如CVD,PVD,Photo,等等 …… 產品特點 測溫準確 溫度偏差在±1.1℃以內、采集周期為200ms，能準確測量晶圓溫場均勻性； 使用便捷 儀器集成度高，即插即用。測試記錄完整數據，并能自動生成測試報告，支持U盤、藍牙、無線網絡等多種方式導出數據和報告； 顯示直觀 最多支持20路實時…
