TC-Wafer校準(zhǔn)儀
TC-Wafer校準(zhǔn)儀，一款專注晶圓溫場(chǎng)均勻性測(cè)量校準(zhǔn)的輔助儀器。適配各類 RTP快速退火爐MOCVD、磁控濺射、刻蝕機(jī)、涂膠顯影機(jī)等需要關(guān)注熱均勻性測(cè)量的相關(guān)設(shè)備，特殊情況可按需定制。
- 溫度范圍：室溫~ 900℃(更高溫可定制)
- 晶圓尺寸：2吋 ~12吋
- 測(cè)溫點(diǎn)數(shù)：測(cè)溫點(diǎn)數(shù)
- 熱電偶類型：J型、K型、T型、E型、R型、S型、B型、N型
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品介紹
TC-Wafer校準(zhǔn)儀，一款專注晶圓溫場(chǎng)均勻性測(cè)量校準(zhǔn)的輔助儀器。適配各類 RTP快速退火爐MOCVD、磁控濺射、刻蝕機(jī)、涂膠顯影機(jī)等需要關(guān)注熱均勻性測(cè)量的相關(guān)設(shè)備，特殊情況可按需定制。
應(yīng)用功能
半導(dǎo)體制造工藝調(diào)校、RTP設(shè)備的測(cè)試驗(yàn)證、TC-Wafer的測(cè)試驗(yàn)證、相關(guān)晶圓熱處理設(shè)備的測(cè)試驗(yàn)證,如CVD,PVD,Photo,等等 ……
產(chǎn)品特點(diǎn)
測(cè)溫準(zhǔn)確 溫度偏差在±1.1℃以內(nèi)、采集周期為200ms，能準(zhǔn)確測(cè)量晶圓溫場(chǎng)均勻性；
使用便捷 儀器集成度高，即插即用。測(cè)試記錄完整數(shù)據(jù)，并能自動(dòng)生成測(cè)試報(bào)告，支持U盤、藍(lán)牙、無線網(wǎng)絡(luò)等多種方式導(dǎo)出數(shù)據(jù)和報(bào)告；
顯示直觀 最多支持20路實(shí)時(shí)測(cè)量(20路以上可定制)，顯示實(shí)時(shí)點(diǎn)位圖及溫度分布圖，可在使用過程中實(shí)時(shí)觀察各點(diǎn)溫度變化；
功能強(qiáng)大 10000條歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ)量，能以圖表形式調(diào)閱歷史溫度和均勻性數(shù)據(jù)。可做同一臺(tái)設(shè)備不同時(shí)間段、以及不同設(shè)備同一配方的數(shù)據(jù)對(duì)比；
便攜易維護(hù) 便攜一體化設(shè)計(jì)，配備磁吸支架可貼靠于RTP表面， Type-C接口65W速充，可迅速更換TC-wafer。
技術(shù)參數(shù)
| 設(shè)備系列 | TC-20 | TC-10 |
|---|---|---|
| 使用范圍 | 室溫~ 900℃(更高溫可定制) | |
| 晶圓尺寸 | 6吋 ~12吋 | 2吋 ~12吋 |
| 熱電偶測(cè)溫點(diǎn)數(shù) | 1 ~ 20 | 1 ~ 10 |
| 熱電偶類型 | K型 | |
| 支持熱電偶類型 | J型、K型、T型、E型、R型、S型、B型、N型 | |
| 屏幕 | 13寸、分辨率：2880*1920 | 10寸、分辨率：1920*1280 |
| 數(shù)據(jù)采集速率 | 100ms ~ 450ms | |
部分應(yīng)用案例
TC Wafer部分合作客戶
標(biāo)簽: tc wafer
嘉儀通科技 | jouleyacht
武漢嘉儀通科技有限公司是專注功能材料物性分析儀器，技術(shù)自主創(chuàng)新的高新技術(shù)企業(yè)。
