產(chǎn)品介紹 快速退火爐系列產(chǎn)品，采用紅外輻射加熱及冷壁技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)實(shí)驗(yàn)材料的快速升溫和降溫，同時(shí)搭配超高精度的溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到極佳的溫場(chǎng)均勻性，對(duì)材料的快速熱處理、快速退火、快速熱氧化、快速熱氮化及金屬合金化等研究和生產(chǎn)工作起到重要作用。廣泛應(yīng)用于高校、科研院所、第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)、半導(dǎo)體制造企業(yè)等。 應(yīng)用功能 快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN) …… 薄膜沉積后退火 合金化退火 低介電材料熱處理 熱疲勞循環(huán)測(cè)試 離子注入退火 熱擴(kuò)散、致密化 化合物半導(dǎo)體退火 合金熔點(diǎn)分析 電極接觸退火 結(jié)晶、燒結(jié) 多晶硅退火 耐熱性測(cè)試 去應(yīng)力退火 氧化制程…
產(chǎn)品介紹 RTP快速退火爐系列產(chǎn)品，采用紅外輻射加熱及冷壁技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)實(shí)驗(yàn)材料的快速升溫和降溫，同時(shí)搭配超高精度的溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到極佳的溫場(chǎng)均勻性，對(duì)材料的快速熱處理、快速退火、快速熱氧化、快速熱氮化及金屬合金化等研究和生產(chǎn)工作起到重要作用。廣泛應(yīng)用于高校、科研院所、第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)、半導(dǎo)體制造企業(yè)等。 應(yīng)用功能 快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN) …… 薄膜沉積后退火 合金化退火 低介電材料熱處理 熱疲勞循環(huán)測(cè)試 離子注入退火 熱擴(kuò)散、致密化 化合物半導(dǎo)體退火 合金熔點(diǎn)分析 電極接觸退火 結(jié)晶、燒結(jié) 多晶硅退火 耐熱性測(cè)試 去應(yīng)力退火 氧…
離子注入工藝是把雜質(zhì)離子加速后入射到材料中去，離子束與材料中的原子或分子將發(fā)生一系列物理的和化學(xué)的相互作用，入射離子逐漸損失能量，最后停留在材料中，并引起材料表面成分、結(jié)構(gòu)和性能發(fā)生變化，從而優(yōu)化材料表面性能，或獲得某些新的優(yōu)異性能。 離子注入后將原子撞出晶格結(jié)構(gòu)而造成晶格損傷，通過(guò)快速退火使原材料的原子和雜質(zhì)原子在熱的作用下發(fā)生移動(dòng)，并最終擴(kuò)散到晶格點(diǎn)，形成電學(xué)，活性的離子摻雜。 嘉儀通快速退火爐系列，有著高溫場(chǎng)均勻性，采用紅外輻射加熱技術(shù)同時(shí)搭配高精度溫度控制系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)樣品快速升溫和退火，對(duì)新材料相關(guān)的RTP研究工作起到重要作用。
半導(dǎo)體材料要實(shí)現(xiàn)功能化，意味著要實(shí)現(xiàn)電信號(hào)的輸入與輸出，需要半導(dǎo)體材料與金屬電極形成良好的歐姆接觸。通過(guò)快速退火將金屬與接觸材料融合降低接觸電阻。 我們以半導(dǎo)體硅和金屬鈦的合金化退火為例： 一定溫度下，鈦金屬和半導(dǎo)體硅材料獲得能量互相擴(kuò)散，在界面處發(fā)生熔合，實(shí)現(xiàn)更加緊密的接觸，從而降低接觸電阻。減少因接觸問(wèn)題造成的電學(xué)測(cè)試干擾，降低功耗，減少發(fā)熱，提高可靠性和壽命
第14屆無(wú)機(jī)非金屬材料專題研討會(huì)暨無(wú)機(jī)非金屬材料學(xué)科優(yōu)秀學(xué)者論壇于2024年8月12日至14日在湖北省武漢市成功舉辦。此次盛會(huì)由中國(guó)硅酸鹽學(xué)會(huì)主辦，武漢理工大學(xué)、湖北隆中實(shí)驗(yàn)室和佛山仙湖實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合承辦，得到了《無(wú)機(jī)材料學(xué)報(bào)》等期刊的大力支持。 在此次研討會(huì)上，武漢嘉儀通科技有限公司積極參與，應(yīng)用工程師周酉林老師匯報(bào)了題為《快速退火技術(shù)在鐵電薄膜材料中的應(yīng)用》的主題報(bào)告。報(bào)告中詳細(xì)闡述了快速退火技術(shù)在鐵電薄膜材料領(lǐng)域的應(yīng)用前景和優(yōu)勢(shì)，引起了與會(huì)主席和專家們的熱烈討論，并獲得了高度認(rèn)可。 嘉儀通應(yīng)用工程師周酉林現(xiàn)場(chǎng)匯報(bào) 作為專注于薄膜材料物理性能測(cè)量?jī)x器自主研發(fā)的企業(yè)，嘉儀通還在現(xiàn)場(chǎng)向各位專家學(xué)者…
2024年7月23日，中國(guó)科學(xué)院北京納米能源與系統(tǒng)研究所順利驗(yàn)收了一臺(tái)由嘉儀通研發(fā)制造的1吋快速退火爐，這標(biāo)志著和該校的合作邁上了一個(gè)新的臺(tái)階。 以下為設(shè)備驗(yàn)收?qǐng)?bào)告： 中國(guó)科學(xué)院北京納米能源與系統(tǒng)研究所此次采購(gòu)的退火爐是用于合金化退火場(chǎng)景科研，對(duì)于設(shè)備的驗(yàn)收有著嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)和要求。交付的1吋快速退火爐，憑借其優(yōu)秀的溫度均勻性，控溫精度以及快速升降溫的速率等特點(diǎn)，得到了該所的高度認(rèn)可。 快速退火爐RTP，是采用近紅外輻射加熱及冷技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)樣品的可控快速升溫和降溫，完成特定條件下的熱處理工藝，同時(shí)可通過(guò)定制觀察窗口，方便進(jìn)行功能擴(kuò)展，適合高校、科研院所、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室等使用。 該產(chǎn)品廣泛用于:強(qiáng)誘…
2024年6月23日，一場(chǎng)設(shè)備驗(yàn)收儀式在北京大學(xué)電子學(xué)院舉行，嘉儀通公司的1吋快速退火爐在此成功通過(guò)并得到了該校的正式驗(yàn)收。 以下為設(shè)備驗(yàn)收?qǐng)?bào)告： 北京大學(xué)是有名的高等學(xué)府，此次采購(gòu)的退火爐是用于半導(dǎo)體材料快速退火科研，對(duì)于設(shè)備的驗(yàn)收有著嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)和要求。交付的1吋快速退火爐，憑借其優(yōu)秀的溫度均勻性，控溫精度以及快速升降溫的速率等特點(diǎn)，得到了學(xué)校的高度認(rèn)可，達(dá)到了學(xué)校對(duì)學(xué)術(shù)研究的需要。 快速退火爐RTP，是采用近紅外輻射加熱及冷壁技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)樣品的可控快速升溫和降溫，完成特定條件下的熱處理工藝，同時(shí)可通過(guò)定制觀察窗口，方便進(jìn)行功能擴(kuò)展，適合高校、科研院所、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室等使用。 快速退火爐廣泛…
2024年5月11日，東北師范大學(xué)成功完成了一臺(tái)由嘉儀通精心研發(fā)與制造的4吋快速退火爐的驗(yàn)收流程。此次驗(yàn)收的順利通過(guò)，不僅彰顯了嘉儀通產(chǎn)品的卓越品質(zhì)，更意味著嘉儀通與東北師范大學(xué)的合作自此邁向全新高度 。 嚴(yán)格把關(guān)，成果斐然 東北師范大學(xué)此次采購(gòu)的退火爐主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料快速退火領(lǐng)域的科研工作。鑒于科研工作的嚴(yán)謹(jǐn)性與專業(yè)性，學(xué)校對(duì)該設(shè)備的驗(yàn)收設(shè)定了極為嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)與要求。交付的這臺(tái)4吋快速退火爐表現(xiàn)卓越，憑借出色的溫度均勻性、精準(zhǔn)的控溫精度以及快速的升降溫速率等顯著優(yōu)勢(shì)，獲得了學(xué)校的高度贊譽(yù)與認(rèn)可，完全契合學(xué)校在學(xué)術(shù)研究層面的嚴(yán)苛需求。 核心產(chǎn)品，應(yīng)用廣泛 快速退火爐作為嘉儀通的核心產(chǎn)品之一，…
2024 年 3 月 21 日，清華大學(xué)材料學(xué)院驗(yàn)收嘉儀通公司提供的教學(xué) 1 吋快速退火爐成功通過(guò)驗(yàn)收，正式成為學(xué)校科研實(shí)驗(yàn)的關(guān)鍵裝備。 此次驗(yàn)收的教學(xué)快速退火爐，是清華大學(xué)材料學(xué)院為滿足材料快速退火科研需求而精心挑選的。該設(shè)備以其出色的性能，在溫度均勻性、控溫精度以及快速升降溫速率等方面完全符合學(xué)校科研的嚴(yán)苛要求，贏得了科研團(tuán)隊(duì)的高度贊譽(yù)。 以下為清華大學(xué)材料學(xué)院的設(shè)備驗(yàn)收?qǐng)?bào)告： 嘉儀通 1 吋快速退火爐乃是嘉儀通公司的明星產(chǎn)品之一。它運(yùn)用先進(jìn)的紅外輻射加熱技術(shù)，可迅速實(shí)現(xiàn)樣品的升溫和降溫。與此同時(shí)，搭配高精度溫度控制系統(tǒng)，有力地確保了溫場(chǎng)的均勻性，為材料的快速熱處理、快速退火、快速熱氧化、…
