2024年6月23日，一場(chǎng)設(shè)備驗(yàn)收儀式在北京大學(xué)電子學(xué)院舉行，嘉儀通公司的1吋快速退火爐在此成功通過(guò)并得到了該校的正式驗(yàn)收。

以下為設(shè)備驗(yàn)收?qǐng)?bào)告：

北京大學(xué)是有名的高等學(xué)府，此次采購(gòu)的退火爐是用于半導(dǎo)體材料快速退火科研，對(duì)于設(shè)備的驗(yàn)收有著嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)和要求。交付的1吋快速退火爐，憑借其優(yōu)秀的溫度均勻性，控溫精度以及快速升降溫的速率等特點(diǎn)，得到了學(xué)校的高度認(rèn)可，達(dá)到了學(xué)校對(duì)學(xué)術(shù)研究的需要。

快速退火爐RTP，是采用近紅外輻射加熱及冷壁技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)樣品的可控快速升溫和降溫，完成特定條件下的熱處理工藝，同時(shí)可通過(guò)定制觀察窗口，方便進(jìn)行功能擴(kuò)展，適合高校、科研院所、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室等使用。

快速退火爐廣泛用于強(qiáng)誘導(dǎo)體薄膜的結(jié)晶化退火、注入離子后的擴(kuò)散退火、半導(dǎo)體材料的燒結(jié)與退火條件研究、玻璃基板的均熱退火、熱循環(huán)試驗(yàn)與熱沖擊試驗(yàn)、升溫脫離試驗(yàn)與觸媒試驗(yàn)等。