產品詳情
產品介紹
TC-Wafer校準儀，一款專注晶圓溫場均勻性測量校準的輔助儀器。適配各類 RTP快速退火爐MOCVD、磁控濺射、刻蝕機、涂膠顯影機等需要關注熱均勻性測量的相關設備，特殊情況可按需定制。
應用功能
半導體制造工藝調校、RTP設備的測試驗證、TC-Wafer的測試驗證、相關晶圓熱處理設備的測試驗證,如CVD,PVD,Photo,等等 ……
產品特點
測溫準確 溫度偏差在±1.1℃以內、采集周期為200ms，能準確測量晶圓溫場均勻性；
使用便捷 儀器集成度高，即插即用。測試記錄完整數據，并能自動生成測試報告，支持U盤、藍牙、無線網絡等多種方式導出數據和報告；
顯示直觀 最多支持20路實時測量(20路以上可定制)，顯示實時點位圖及溫度分布圖，可在使用過程中實時觀察各點溫度變化；
功能強大 10000條歷史數據存儲量，能以圖表形式調閱歷史溫度和均勻性數據。可做同一臺設備不同時間段、以及不同設備同一配方的數據對比；
便攜易維護 便攜一體化設計，配備磁吸支架可貼靠于RTP表面， Type-C接口65W速充，可迅速更換TC-wafer。
技術參數
| 設備系列 | TC-20 | TC-10 |
|---|---|---|
| 使用范圍 | 室溫~ 900℃(更高溫可定制) | |
| 晶圓尺寸 | 6吋 ~12吋 | 2吋 ~12吋 |
| 熱電偶測溫點數 | 1 ~ 20 | 1 ~ 10 |
| 熱電偶類型 | K型 | |
| 支持熱電偶類型 | J型、K型、T型、E型、R型、S型、B型、N型 | |
| 屏幕 | 13寸、分辨率：2880*1920 | 10寸、分辨率：1920*1280 |
| 數據采集速率 | 100ms ~ 450ms | |
部分應用案例
TC Wafer部分合作客戶
標簽: tc wafer
嘉儀通科技 | jouleyacht
武漢嘉儀通科技有限公司是專注功能材料物性分析儀器，技術自主創新的高新技術企業。
