電阻率是描述材料導電性能的物理量，它表示單位長度和單位截面積的導體在單位電場強度下的電阻。

對于薄膜材料，電阻率的大小與其微觀結構、摻雜程度、溫度等因素密切相關。薄膜電阻率的測量基于歐姆定律，即電阻與電流成正比，與電壓成反比。通過測量薄膜上的電壓和電流，我們可以計算出薄膜的電阻值，進而求得電阻率。

電阻率的測量方法有四探針法和范德堡法：

四探針法是一種常用的電阻率測量方法。該方法使用四個等間距的金屬探針與材料表面接觸，其中兩個探針用于通入電流，另外兩個探針用于測量電壓。通過測量電流和電壓的值，可以計算出材料的電阻率。

范德堡法是一種適用于測量材料電阻率的另一種方法。該方法利用范德堡電橋原理，通過在材料表面制作四個歐姆接觸點，形成兩個測量回路，從而測量出材料的電阻率。

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