2024年6月23日,一場設備驗收儀式在北京大學電子學院舉行,嘉儀通公司的1吋快速退火爐在此成功通過并得到了該校的正式驗收。

以下為設備驗收報告:

北京大學是有名的高等學府,此次采購的退火爐是用于半導體材料快速退火科研,對于設備的驗收有著嚴格的標準和要求。交付的1吋快速退火爐,憑借其優秀的溫度均勻性,控溫精度以及快速升降溫的速率等特點,得到了學校的高度認可,達到了學校對學術研究的需要。
快速退火爐RTP,是采用近紅外輻射加熱及冷壁技術,可實現實驗樣品的可控快速升溫和降溫,完成特定條件下的熱處理工藝,同時可通過定制觀察窗口,方便進行功能擴展,適合高校、科研院所、企業實驗室等使用。
快速退火爐廣泛用于強誘導體薄膜的結晶化退火、注入離子后的擴散退火、半導體材料的燒結與退火條件研究、玻璃基板的均熱退火、熱循環試驗與熱沖擊試驗、升溫脫離試驗與觸媒試驗等。
 
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