2024年7月23日,中國科學院北京納米能源與系統研究所順利驗收了一臺由嘉儀通研發制造的1吋快速退火爐,這標志著和該校的合作邁上了一個新的臺階。
以下為設備驗收報告:

中國科學院北京納米能源與系統研究所此次采購的退火爐是用于合金化退火場景科研,對于設備的驗收有著嚴格的標準和要求。交付的1吋快速退火爐,憑借其優秀的溫度均勻性,控溫精度以及快速升降溫的速率等特點,得到了該所的高度認可。
快速退火爐RTP,是采用近紅外輻射加熱及冷技術,可實現實驗樣品的可控快速升溫和降溫,完成特定條件下的熱處理工藝,同時可通過定制觀察窗口,方便進行功能擴展,適合高校、科研院所、企業實驗室等使用。
該產品廣泛用于:強誘導體薄膜的結品化退火、注入離子后的擴散退火、半導體材料的燒成與退火條件研究、玻璃基板的均熱退火、熱循環試驗與熱沖擊試驗、升溫脫離試驗與觸媒試驗等。
 
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