產品詳情
產品介紹
RTP快速退火爐系列產品，采用紅外輻射加熱及冷壁技術，可實現對實驗材料的快速升溫和降溫，同時搭配超高精度的溫度控制系統，可達到極佳的溫場均勻性，對材料的快速熱處理、快速退火、快速熱氧化、快速熱氮化及金屬合金化等研究和生產工作起到重要作用。廣泛應用于高校、科研院所、第三方檢測機構、半導體制造企業等。
應用功能
快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN) ……
| 薄膜沉積后退火 | 合金化退火 | 低介電材料熱處理 | 熱疲勞循環測試 |
| 離子注入退火 | 熱擴散、致密化 | 化合物半導體退火 | 合金熔點分析 |
| 電極接觸退火 | 結晶、燒結 | 多晶硅退火 | 耐熱性測試 |
| 去應力退火 | 氧化制程 | 多晶硅退火 | 材料制備 … … |
基片類型
硅片、碳化硅基片、化合物半導體基片、用于LED的GaN/藍寶石基片、用于太陽能電池的多晶硅基片、石墨和鍍碳化硅的石墨基座、玻璃基片、金屬、聚合物等。
器件類型
光電芯片、射頻芯片、MEMS傳感器芯片、功率器件、CMOS芯片、模擬芯片、分立器件、光伏器件、顯示器件、存儲器芯片、光電子芯片、MEMS芯片的制造等。
應用材料
電子材料、陶瓷與無機材料、金屬材料、復合材料 、功能薄膜材料……
定制化應用(創新實驗)
原位光學觀察、相變測試、原位電學測試、測熱膨脹系數……
技術參數
| 設備系列 | RTP-3-04 | RTP-3-06 | RTP-3-08 | RTP-3-12 |
|---|---|---|---|---|
| 最大樣品尺寸(∮) | 100mm | 150mm | 200mm | 300mm |
| 控溫范圍 | RT~1200℃ | |||
| 最快升溫速率 | 150℃/s | 150℃/s | 150℃/s | 150℃/s |
| 最大降溫速率 | 1200℃/min | 1200℃/min | 1200℃/min | 1200℃/min |
| 控溫精度 | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ |
| 溫度均勻性 | ≤1% | ≤1.5% | ≤1.5% | ≤1.5% |
| 氣體氛圍 | 1-6路可選，轉子流量計或MFC控制，量程可定制 | |||
部分應用案例
論文發表
截止2024年5月，已有客戶包括華中科技大學、哈爾濱工業大學等知名高校共計30余篇論文引用了RTP快速退火爐系列產品的測試結果。
快速退火爐部分合作客戶
嘉儀通科技 | jouleyacht
武漢嘉儀通科技有限公司是專注功能材料物性分析儀器，技術自主創新的高新技術企業。
